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引言聲表面波(SAW)是一種能量集中在固體淺表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?。由于聲表面波在介質(zhì)表面進(jìn)行換能和傳播,所以信息的注入、提取、處理都可以方便地實(shí)現(xiàn)。目前聲表面波器件主要應(yīng)用在濾波器、延遲線、振蕩器、觸摸屏等方面,其中移動(dòng)通信中的濾波器應(yīng)用最廣泛。基于聲表面波技術(shù)的傳感器也被較廣泛的新究。隨著信息技術(shù)特別是射頻識(shí)別技術(shù)的發(fā)展,SAW標(biāo)簽成為聲表面波領(lǐng)域的另一個(gè)研究熱點(diǎn)。SAW標(biāo)簽的獨(dú)特性使其成
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