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本文研究了一種基于形狀記憶合金（SMA）驅(qū)動的常閉型微閥．該微閥結(jié)構(gòu)由彈性溝道層和形狀記憶合金橋兩部分組成，利用形狀記憶合金微絲在相變過程中產(chǎn)生的拉力，打開微閥結(jié)構(gòu)．通過對微閥的測試得出，其打開壓力為4000Pa左右，開啟時間和關(guān)閉時間分別為0．6s和1s．此外，當(dāng)電流在0．14～0．30A內(nèi)，可得到6．7～75．2μL／min的近似線性流量調(diào)節(jié)范圍．該形狀記憶合金常閉微閥的制造采用聚二甲基硅氧烷（PDMS）的軟光刻工藝實現(xiàn)，之后采用印刷電路板（PCB）上的形狀記憶合金絲焊接組裝搭建驅(qū)動結(jié)構(gòu)．
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本文研究了一種基于形狀記憶合金(SMA)驅(qū)動的常閉型微閥.該微閥結(jié)構(gòu)由彈性溝道層和形狀記憶合金橋兩部分組成,利用形狀記憶合金微絲在相變過程中產(chǎn)生的拉力,打開微閥結(jié)構(gòu).通過對微閥的測試得出,其打開壓力為4 000 Pa左右,開啟時間和關(guān)閉時間分別為0.6 s和1 s.此外,當(dāng)電流在0.14～0.30 A內(nèi),可得到6.7—75.2μL/min的近似線性流量調(diào)節(jié)范圍.該形狀記憶合金常閉微閥的制造采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的軟光刻工藝實現(xiàn),之后采用印刷電路板(PCB)上的形狀記憶合金絲焊接組裝搭建驅(qū)動結(jié)構(gòu).
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