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滑閥式真空泵排氣系統(tǒng)的氣流通道截面具有多次突變的特點,利用這個特點可以進行抗性消聲設計。理論和試驗都表明,合理地設計滑閥式真空泵排氣系統(tǒng)擴張比、擴張室長度以及適當?shù)乩貌迦牍?可以有效的降低滑閥式真空泵的低頻噪聲。經(jīng)過對H150型滑閥式真空泵的初步試驗,取得了降低噪聲9dBA的效果。
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