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首次在國內(nèi)報道了128×128面陣短波/中波(SW/MW)雙色碲鎘汞(HgCdTe)紅外焦平面探測器(infraredfocal plane arrays,IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位摻雜技術(shù)生長的p-p-P-N型碲鎘汞(Hg1-xCdxTe)多層異質(zhì)結(jié)材料,通過B+注入、臺面腐蝕、臺面?zhèn)认蜮g化和爬坡金屬化,以及雙色探測芯片與讀出電路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互連等工藝,得到了128×128面陣雙色焦平面探測器.通過濕化學腐蝕方法的優(yōu)化,將光敏元尺寸為(50×50)μm2的雙色微臺面探測器的占空比提高了一倍.該面陣雙色紅外焦平面探測器具有較好的均勻性和正常的光電特性.在液氮溫度下,二個波段的光電二極管截止波長λc分別為2.7μm和4.9μm,對應的峰值探測率Dλ*p分別為1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011cmHz1/2/W.
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