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伴隨著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈,常規(guī)的MPW(多項(xiàng)目晶圓)布局也不能滿足客戶的要求,同時(shí)也不能最大限度地降低設(shè)計(jì)公司的研發(fā)成本,也不利于國(guó)內(nèi)foundry廠市場(chǎng)的開(kāi)拓。鑒于此,文章著重提出了利用光刻機(jī)擋板把光罩進(jìn)行區(qū)域劃分,在不增加流片和滿足客戶要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客戶的流片費(fèi)用。通過(guò)在15cm片上流片驗(yàn)證,更加突出了此優(yōu)化光罩布局的方法在研發(fā)成本和滿足客戶要求等方面的優(yōu)越性,因而這種布局對(duì)我國(guó)集成電路的發(fā)展和新產(chǎn)品的研發(fā)工作,特別是對(duì)國(guó)內(nèi)中小企業(yè)的成長(zhǎng)提供了有力的支持,也為foundry廠贏得市場(chǎng)提供了重要的手段。
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介紹紫外光刻法制作微納光纖布喇格光柵(MF-BG)的制作工藝,測(cè)量并分析不同直徑的微納光纖布喇格光柵的反射譜。數(shù)據(jù)表明隨著微納光纖的直徑變小,光纖光柵的中心波長(zhǎng)藍(lán)移且反射強(qiáng)度也隨之減小。仿真計(jì)算微納光纖的有效折射率和光纖纖芯的束縛能力(即基模分布在纖芯的能量與基模全部能量的比值),來(lái)解釋上述變化。
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