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通過對(duì)幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造，用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫（ＩＴＯ）膜，并對(duì)其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。
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介紹了該生產(chǎn)線各工段對(duì)環(huán)境品質(zhì)的要求以及各工段的通風(fēng)空調(diào)設(shè)計(jì)方案、氣流組織、設(shè)備配置。
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