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從AT切的石英晶體等效電路出發(fā),利用電路理論推導(dǎo)單片石英晶體上耦合電極的相互影響.相互耦合作用用復(fù)電阻描述,然后通過實驗觀察復(fù)電阻的頻率特性,分析其具體的形式.同時通過實驗初步觀察了MQCM(multi-channelquartzcrystalmicrobalance)對石英片諧振頻率的影響,以及不同電極尺寸對耦合的影響.
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為了實現(xiàn)石英玻璃薄板的激光精密切割,對石英玻璃薄板激光切割原理進(jìn)行了探討,提出了依照材料光學(xué)透過率特性來選擇激光切割用激光源的方法。通過對材料光學(xué)透過率的特性分析可以得知,用來切割石英玻璃的激光源波長應(yīng)在5μm~20μm范圍內(nèi)。對石英玻璃薄板的激光精密切割進(jìn)行了實驗驗證,實驗結(jié)果表明,激光精密切割技術(shù)能夠較好地運用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度優(yōu)于20μm、中心對稱度小于3μm。這一結(jié)果和激光源選擇方法對石英材料激光精密加工技術(shù)研究及其設(shè)備研制是有幫助的。
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