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更新時間：2025.05.17
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介紹了微機電系統(tǒng)的基本概念、醫(yī)療用微機電系統(tǒng)的研究和幾種典型的應用實例。
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設計研制了一種小體積、低成本、可擴展的低電壓非硅基底 1× 4微機電系統(tǒng)光開關(guān)。開關(guān)單元由電磁驅(qū)動 ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動 ,驅(qū)動電壓為 5V ,開關(guān)時間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場 ,進行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設計 ,并著重介紹開關(guān)的實現(xiàn)及性能
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