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為解決傳統(tǒng)電容式測風(fēng)傳感器的輸出非線性,設(shè)計(jì)了一種基于MEMS微機(jī)械加工技術(shù)的電容式風(fēng)速傳感器。傳感器的敏感結(jié)構(gòu)創(chuàng)新性地采用了一個(gè)三層結(jié)構(gòu)的懸臂梁,這種三層結(jié)構(gòu)的懸臂梁構(gòu)成了一個(gè)平行板電容器。風(fēng)力作用于傳感器敏感結(jié)構(gòu)引起電容器的極板面積、極板間距以及絕緣層介電常數(shù)的變化,從而引起電容器輸出電容的變化,通過測量傳感器輸出電容的變化值可以實(shí)現(xiàn)風(fēng)速的測量。基于流體力學(xué)原理和多層懸臂梁理論對(duì)傳感器進(jìn)行了理論分析,并為傳感器設(shè)計(jì)了制作工藝流程。
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